화합물전처리,분석장비 시간비행형이차이온질량분석기
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시간비행형이차이온질량분석기
TOF-SIMS
시설장비활용번호Z-202304277399
시설장비등록번호NFEC-2012-09-170077
시설장비표준분류메트릭스보조레이저탈착이온화질량분석기
- 장비활용서비스연세대학교
- 장비문의 032-749-5820
- 예약문의 02-2123-7441
- 이용요금100,000원 ( 시료수 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)Ion-tof (TOF-SIMS 5)
- 구축일자2011년 12월 20일
- 사용용도시험
- 표준분류화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 메트릭스보조레이저탈착이온화질량분석기
- 설치장소인천광역시 연수구 송도과학로 85 (송도동) 과학로 F1 106-1
- 장비설명시료 표면에 1차이온을 입사시킨 후 방출되어 나오는 2차 이온의 질량을 분석함으로써 시료
표면의 구조 및 성분 정보를 얻을 수 있는 기기
- Surface analysis : 극표면 (약 50 Å 이하)의 성분분석, 원소, 분자 분석 가능
- Image mapping : lateral resolution 200 nm 이상, 원소, 분자 mapping 가능
- Depth profile : dual beam mode, depth resolution 1 nm 이하
- 구성 및 성능
시료 크기에 제약을 받지 않고 micro 분석을 할 수 있으며, 또한 pulsed beam을 사용하기 때문에 분석 시 시료의 손상을 최소화하여 시료에 대한 정확한 정보를 획득 할 수 있습니다.
- 사용/활용예
TOF SIMS는 무기물 유기물 등 모든 종류의 시료 분석이 가능하여 Bio- material 반도체 polymer LED LCD OLED 2차 전지 금속 세라믹 재료 화학 물리 촉매 등의 다양한 분야에서 사용됩니다.
또한 검출한계가 ppm/ppb 단위로 다른 분석 장비로는 분석이 불가능한 미량분석 을 할 수 있습니다.
