광학,전자영상장비 전계방출형 주사전자현미경
전계방출형 주사전자현미경
Field Emission Scanning Electron Microscope
시설장비활용번호Z-202304297477
시설장비등록번호NFEC-2012-02-153758
시설장비표준분류주사전자현미경
- 장비활용서비스연세대학교 산학협력단
- 장비문의 032-749-5824
- 예약문의 02-2123-6973
- 이용요금40,000원 ( 시간당 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)Jeol (JSM-7001F)
- 구축일자2012년 02월 06일
- 사용용도시험
- 표준분류광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
- 설치장소인천광역시 연수구 송도과학로 85 (송도동) 과학로 F1 106-3
- 장비설명낮은 가속전압에서 높은 probe current
높은 beam 안정도
넓은 시료 예비교환실 : Airlock Chamber
간단한 시료교환 : One Action Mechanism
Network를 이용한 조작 가능
- 구성 및 성능그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
이러한 용도로 사용되는 FE-SEM은 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계 샘플을 넣는 시료실 신호 및 정보 검출을 위한 각종 검출기(Detector) 조작 테이블 출력 장치 등의 여러 부품으로 이루어져 있다.
- 사용/활용예
- 용도
주사 전자현미경(SEM)의 원리는 전자총에서 방출된 전자 빔(Electron Beam)을 집속시킨 후 시료 표면의 관찰영역을 주사하여, 이때 시료표면에서 발생되는 여러가지 형태의 전자를 검출기로 감지하여, Digital화된 영상신호를 액정표시장치를 통해 표현함으로써, 시료의 표면형태 및 조성에 대한 각각의 정보를 영상들을 얻어 출력할 수 있는 장비이다.
그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해, 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
