광학,전자영상장비 주사전자현미경(전계방출형 주사전자현미경)
주사전자현미경(전계방출형 주사전자현미경)
Field Emission-Scanning Electron Microscope
시설장비활용번호Z-202111155758
시설장비등록번호NFEC-2011-01-134390
시설장비표준분류주사전자현미경
- 장비활용서비스지속가능한 에너지 부품소재 핵심연구지원센터
- 장비문의 -
- 예약문의 032-860-8912
- 이용요금60,000원 ( 시간당 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)Hitachi (S-4300)
- 구축일자2007년 01월 10일
- 사용용도시험
- 표준분류광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
- 설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 본관 1 B1층
- 장비설명용도
무기물 시료(금속, 반도체, 절연체, 미세입자 등) 및 유기물 시료 (건조된 생체조직, 목재, 식물 등)의 표면구조 관찰
초미세가공 샘플의 구조 관측 및 평가
EDS(Horiba EX-250)의 장착으로 고체 시료를 구성하는 원소의 정성 및 정량분석과 조성에 따른 표면 mapping 가능
- 구성 및 성능주요사항 및 특징
FE-SEM - Resolution : 1.5nm at 15KV / 5.0nm at 1KV
- Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30KV
- Magnification: x20 ~ x500,000
- Cold Cathode field emission electron source
- Signal detecting : Secondary Electron Detector
EDS : Horiba EX-250
Ion Sputter Coater : Hitachi E-1030 [Pt target]
- 사용/활용예
