광학,전자영상장비 전자탐침미량분석기
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전자탐침미량분석기
EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)
시설장비활용번호Z-201903137256
시설장비등록번호NFEC-2007-10-015566
시설장비표준분류전자현미원소분석기
- 장비활용서비스한국생산기술연구원
- 장비문의 032-850-0252
- 예약문의 032-850-0252
- 이용요금80,000원 ( 기타 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)Cameca (SX 100)
- 구축일자2006년 12월 30일
- 사용용도시험
- 표준분류광학/전자영상장비 > 현미경 > 전자현미원소분석기
- 설치장소인천광역시 연수구 갯벌로 156 (송도동) 7-47 F1 1001
- 장비설명재료표면성분 ppm order 정량분석
- 구성 및 성능Basic automated electron probe micro-analyser - Accelerating voltage : 2 to 50 kV, - Beam current stability : better than 0.05 % / Permanent beam regulation during data acquisition - Specimen stage drive :direct drive, stepper motors on all axes - Magnification : field of view = 1.75mm to 0.25mm, continuously variable and motorized zoom - Ion pump :50 l/s, built into the gun chamber
Standard software : PC computer 32 bit workstation / MS Windows (OS)
Standard WD spectrometers - WDS Spectrometers ranges : 0.22 to 0.83 sinθ and 2.22 to 0.93 sinθ, Rowland circle diameter : 160 mm - WDS Spectrometer drive : Direct-drive spectrometer - WDS Spectrometer positioning : slide mounted, closed loop optical encoding - WDS Spectrometer speed : 15 mm/s, ≤15 s limit to limit
Sample size: up to 100×100mm, 20mm thick
WDS, crystal PC1, PC2, TAP, PET, LiF
SEM
Microscope
Elements full scan
Mapping
- 사용/활용예ppm에서 수십 ppm까지의 미량 원소의 tracking 및 정량측정
