광학,전자영상장비 엘립소미터
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엘립소미터
Ellipsometer
시설장비활용번호Z-202209232161
시설장비등록번호NFEC-2022-09-281167
시설장비표준분류타원계
- 장비활용서비스3D나노융합소자연구센터
- 장비문의 010-7756-5332
- 예약문의 010-7756-5332
- 이용요금0원 ( 시간당 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)(주)나노-뷰 (SE MG-1000)
- 구축일자2012년 03월 18일
- 사용용도시험
- 표준분류광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계
- 설치장소인천광역시 남구 인하로 100 인하대학교 F1층 2N110호
- 장비설명특정 편광 상태를 지니면서 시편에 입사한 빛이 반사된 후에 타원 편광으로 변하고, 그 편광상태의 변화를 분석하여 시편이 지닌 정보를 찾아내는 기술을 지닌 측정 장비임.
- 투과성을 가진 반도체 박막의 두께 및 굴절율 측정(Si, SiOx, SiNx 등)
- 구성 및 성능* 구성및성능
- Variable Angle (manual step: 5°)
- Operating voltage : 110V ~ 250V
- Dimension : 60cm(W) × 30cm(D) × 36cm(H)
- Wavelength range : 350nm ~ 840nm
- Detector type : 2048 CCD array
- multi-channel detector
- Measurement Speed : 6s/site
- 사용/활용예
