광학,전자영상장비 저진공 전계방사형 주사전자현미경
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저진공 전계방사형 주사전자현미경
Low Vacuum Field Emission Scanning Electron Microscope
시설장비활용번호Z-201906039892
시설장비등록번호NFEC-2018-04-243023
시설장비표준분류주사전자현미경
- 장비활용서비스극지연구소
- 장비문의 -
- 예약문의 032-770-8735
- 이용요금0원 ( 시간당 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명)Jeol (JSM 7200F LV / AZtec HKL EDS)
- 구축일자2018년 03월 20일
- 사용용도분석
- 표준분류광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
- 설치장소인천광역시 연수구 송도미래로 26 (송도동) 송도미래로26 F4층 R1-420
- 장비설명• 나노미터 미세구조 관찰
- Field Emission electron gun(FE-gun)을 이용한 나노미터 스케일의 미세구조 관찰
- 미분화운석의 미세광물 관찰
- 소행성의 물을 함유한 함수광물 구조 관찰
- 우주먼지(최대 수십 μm 크기)의 구조 및 구성광물 관찰
• 화학 분석 및 이미징
- 나노 스케일의 미세 광물에 대한 X-ray 준정량 분석
- 안정적인 FE-gun과 최대 300nA에 이르는 전자빔을 이용해 수일, 수주에 이르는 장시간 X-ray 원소 이미징 가능(원소동시 분석)
- 남극운석, 우주먼지, 테프라 등 극소량 시료 분석에 최적
• 저진공(Low vacuum) 모드 관찰/분석
- 시료에 코팅을 할 필요가 없기 때문에 표면 관찰이 중요한 시료(화석 등)나 코팅이 어려운 시료(우주먼지)를 관찰 및 분석
- 시료의 전처리 없이 그 상태 그대로 화학 분석 가능
- 구성 및 성능
• LV FE-SEM
- 전자총: ZrO/W Schottky In-lens field emission type (3년 보증)
- 공간분해능: 가속전압 20kV에서 1.0nm
- 배율 : 10배 ？ 1,000,000배
- 가속전압 : 0.01 kV - 30 kV
- 이미지 모드: SEI, BEI (Compo, Topo. Shadow)
- 전자빔: 1 pA - 300 nA
- 저진공 모드: 10 ~ 300 Pa
• AZtec X-MaxN SDD EDS
- LN2 Silicon Drift Detector (SDD): 50mm2
- 에너지 분해능: 20,000cps에서 127eV 이하
- Line / Grid 자동 분석
- Large Area Mapping
- 준정량 mapping
- Beam drift correction
- 사용/활용예
