주사전자현미경(전계방출형 주사전자현미경) > 장비등록

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광학,전자영상장비 주사전자현미경(전계방출형 주사전자현미경)

페이지 정보

예약문의032-860-8912
주사전자현미경(전계방출형 주사전자현미경) Field Emission-Scanning Electron Microscope
시설장비활용번호Z-202111155758 시설장비등록번호NFEC-2011-01-134390 시설장비표준분류주사전자현미경
  • 장비활용서비스지속가능한 에너지 부품소재 핵심연구지원센터
  • 장비문의 -
  • 예약문의 032-860-8912
  • 이용요금60,000원 ( 시간당 )
이용문의

본문

장비정보 Information
  • 제작사명(모델명)Hitachi (S-4300)
  • 구축일자2007년 01월 10일
  • 사용용도시험
  • 표준분류광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
  • 설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 본관 1 B1층
  • 장비설명용도
    무기물 시료(금속, 반도체, 절연체, 미세입자 등) 및 유기물 시료 (건조된 생체조직, 목재, 식물 등)의 표면구조 관찰
    초미세가공 샘플의 구조 관측 및 평가
    EDS(Horiba EX-250)의 장착으로 고체 시료를 구성하는 원소의 정성 및 정량분석과 조성에 따른 표면 mapping 가능
  • 구성 및 성능주요사항 및 특징
    FE-SEM - Resolution : 1.5nm at 15KV / 5.0nm at 1KV
    - Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30KV
    - Magnification: x20 ~ x500,000
    - Cold Cathode field emission electron source
    - Signal detecting : Secondary Electron Detector
    EDS : Horiba EX-250
    Ion Sputter Coater : Hitachi E-1030 [Pt target]
  • 사용/활용예
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