화합물전처리,분석장비 글로우방전질량분석기
페이지 정보
글로우방전질량분석기
Glow Discharge Mass Spectrometer
시설장비활용번호Z-NTIS-0062586
시설장비등록번호NFEC-2016-11-212715
시설장비표준분류플라즈마질량분석기
- 장비활용서비스한국생산기술연구원
- 장비문의 032-458-5111
- 예약문의 032-458-5111
- 이용요금550,000원 ( 시료수 )
본문
장비정보
Information
- 제작사명(모델명) MSI(Mass Spectrometry Instruments) (ULTIMA GD RFA)
- 구축일자2016년 10월 31일
- 사용용도시험
- 표준분류화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 플라즈마질량분석기
- 설치장소인천광역시 연수구 갯벌로 12 희소금속센터 F1 110B
- 장비설명1. 고체상태의 시료에 존재하는 미량의 무기원소들을 특별한 전처리 없이 직접 주입/분석하여 정량 분석이 가능하므로, 희토류 원소들과 같이 고융점을 갖고 있고 산이나 알칼리에 의해서 녹이기 힘든 시료의 분석 활용
2. 1회에 70여개의 원소를 %에서 ppt에 이르는 광범위한 영역의 정량 분석 가능
3. 일반적인 금속 도체 시료 이외에 산화물 부도체/반도체 시료 분석을 위한 RF 모듈 장착
- 구성 및 성능
1. Ar flow : 1 ml/min
2. Discharge voltage : 1 ~ 3000V
3. Discharge current : 0.1 ~ 10mA
4. RF Source : 13.56 MHz RF frequency, 200 W max
5. Switched between RF and DC
6. Mass range : >300 amu at 8kV
7. Scan speed : 0.1 ~ 1000 sec/decade.
8. Resolution : 20000 max
Configuration:
1. Source Housing with Slow Sputtering and High Vacuum
2. Pin & Flat-Cell Source
3. Pulsed RF (Radio Frequency) Source
4. Triple-focusing S-Analyser
5. Autosampler with 8 samples Holders
6. Collector
7. Vacuum system
8. Electronics
- 사용/활용예
1. 부도체, 반도체, 도체의 고체 및 분체시료를 화학적 전처리 없이 직접 분석
2. 산화물 직접분석
3. 다층 박막의 깊이분포 분석
4. 정성, 정량분석
5. 다원소 동시분석
6. 정량분석범위 : ppt~%
